주사전자현미경(SEM)

21566414

주사전자현미경,Jeol,JP/JSM-6701F,전계방사형

공동실험실습관

혜성관 206호 주사전자현미경실

2005-08-03

Field Emission Scanning Electron Microscope

Field Emission Scanning Electron Microscope, 주사전자현

-용도설명 : 고진공중에서 금속표면에 강한 양전위를 걸어 주어 전자를 표면으로부터 떼어내는 방식으로 열전자에 비해 전류밀도가 매우 높기 때문에 고휘도의 전자빔을 얻을 수 있다. 따라서 일반 주사 현미경보다 고분해능,고배율로 분석이 가능하고, 에너지분산분석기(EDS)를 부착하여 시료의 전체적인 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포확인이 가능하다. -응용분야 : SEM 본체에 EDS를 부착하여시료의 전체적인 성분분석 가능 나노 수준의 미세구조 관찰 표면구조의 고해상도/고배율 관찰 금속, 무기재료, 반도체, 섬유, 세라믹, 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세 조직 관찰 에너지분산분석기(EDS)를 이용한 시료의 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포 확인 등

(FE-SEM) -Accelerating Voltage : 0.5 ~ 30kV -Magnification : 25 ~ 650,000 -Resolution : 1.0㎚(15kV), 2.2㎚(1kV) -Image : SEI, BEI (EDS) -Detectable element : B(5) ~ U(92) -Detection range : 120eV ~ 20keV -Resolution : 139eV

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정상

김보경

029707256